一、工藝原理　　
等離子體技術原理

等離子體中的化學反應主要是通過氣體放電產(chǎn)生的快電子激發(fā)來完成的。這些快電子與氣體分子碰撞，使氣體分子激發(fā)到更高的能級。被激發(fā)到高能級的分子，由于其內(nèi)能的增加，既可發(fā)生鍵的斷裂也可以與其它物種發(fā)生化學反應；而由于碰撞失去部分能量的電子在電場的作用下仍可得到補償。典型的反應類型如下：

O3和高能量的自由電子。這些活性物種使得在通常條件下難以實現(xiàn)的反應可以

很容易地在等離子體系統(tǒng)中完成。尤其對空氣中污染物的脫除，可以在很短的

時間內(nèi)使其分解甚至完全分解。研究表明，等離子體分解空氣污染物可通過兩

種途徑完成：
（1）在產(chǎn)生等離子體的過程中產(chǎn)生的瞬間高能量，打開某些有害分子的化學鍵，使其分解成單質(zhì)原子或無害分子。
（2）等離子體中包含了大量的高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子（其能量范圍如表 1）和具有強氧化活性的自由基，這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，它們和有害氣體分子發(fā)生頻繁的碰撞，打開氣體分子的化學鍵，同時產(chǎn)生的大量??OH、HO2?? 、O??等自由基和氧化性極強的 O3 跟有害氣體分子發(fā)生化學反應生成無害產(chǎn)物。

表 1 低溫等離子體中各種粒子能量和幾種氣體分子鍵能

此外，低溫等離子體還有去除空氣中的煙塵顆粒、細菌、花粉、病毒、孢子等污染物的作用。
去除顆粒污染物放電產(chǎn)生的等離子體中包含有大量的電子和正負離子，它們在電場梯度的作用下，與空氣中的顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞，從而附著在上面，使之成為荷電離子，若外加電場，可被集塵極收集。這一過程對懸浮于空氣中直徑小于100 微米的顆粒和直徑小于 10 微米的可吸入顆粒有較高的清除效果。

二、工藝流程圖　

三、低溫等離子體的技術優(yōu)勢

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物凈化技

術應用來說是兩個非常重要的因素。圖 2 所示為氣體流速和濃度與不同治理技

術之間的關系。

由圖 2 可以看出，生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術僅有一段非常窄的流速范圍。而低溫等離子技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，其應用廣泛不言而喻。

圖 2 氣態(tài)污染物凈化技術的應用范圍低溫等離子技術工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯(lián)合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過高)會造成催化劑失活，生物法要嚴格控制 pH 值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術者較好地克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，并可同時降解混合氣態(tài)污染物，不會產(chǎn)生二次污染。在投資費用方面，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成單一緊湊，還可通過現(xiàn)有的靜電除塵裝置改進實現(xiàn)。在運行費用方面，微觀上講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用降低。

四、應用范圍

本產(chǎn)品廣泛應用于電子、電器、線路板、電鍍、機械、化工、電廠、礦業(yè)、冶煉、橡膠、家具、皮革、紙業(yè)、陶瓷、汽車制造等行業(yè)。